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显微镜
WOJP11004450 2011-8-5 发明申请
2012-2-23
一个根据本发明的显微镜包括一个成像单元包括一个第一的照明单元,一个成像元件,以及一个投影光学系统,第一照明单元包括一个光源照亮一个第一对象,所述成像元件第一的对象进行成像,该投影光学系统第一的投影图像对象在所述成像元件; 一个测量单元配置成测量一个第二对象用于设置一个当进行成像的成像使用条件第二对象在所述成像单元; 和一个控制器第一配置为同时执行所述的成像对象在所述成像单元和所述测量第二的对象在所述测量单元。
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