| 基于准静态加载的扫描电镜下原位拉伸/压缩材料力学测试平台 |
| CN201110305112.4 2011-10-11 发明申请 |
| 2012-2-22 |
| 本发明涉及一种基于准静态加载的扫描电镜下原位拉伸/压缩材料力学测试平台，属于机电类。测试平台可实现“超低速准静态”的拉伸/压缩模式加载，及载荷/位移信号的同步采集和精密闭环控制，并可实现与HitachiTM-1000型扫描电子显微镜及各类具有腔体及载物台结构的成像仪器兼容使用。本发明由精密驱动单元、精密传动单元、载荷/位移信号检测及控制单元以及夹持及连接单元组成。本发明体积小巧，结构紧凑，应变速率可控，与各类主流扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线衍射仪以及光学显微镜等成像仪器具有良好的结构兼容性、真空兼容性及电磁兼容性。 |
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