| 一种低温扫描近场光学显微镜的真空腔 |
| CN201110255657.9 2011-8-31 发明申请 |
| 2012-2-22 |
| 本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜的真空腔，属于近场光学仪器制造领域。该真空腔室分为上下两部分，上部为扫描室，下部为低温杜瓦室。扫描室内设有扫描头，在扫描室的顶部设有顶部法兰，顶端法兰上设置了5个法兰口和升降杆。其中3个法兰口连接包括扫描台、粗逼近马达，音叉以及温度监控等部件的电子线路进出真空腔室的电极法兰；2个法兰口连接包括照明光纤和针尖光纤两路光纤转接法兰。本发明低温近场光学显微镜的扫描头部分可以从真空腔室中独立取出，使得针尖光纤可以在真空腔室外更换。 |
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