| 一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置 |
| CN201110199546.0 2011-7-16 发明申请 |
| 2012-2-15 |
| 本发明公开了一种延长扫描电子显微镜灯丝寿命的装置,包括有220V交流源、直流电源模块,时序组合开关装置,220V交流源供电至直流电源模块、扫描电子显微镜的机械泵,时序组合开关装置包括延时时间可调继电器、高压干簧继电器、真空探测器高压BNC。本发明能够有效提高仪器关键部件使用寿命和拓展设备的功能,延长了扫描灯丝的使用寿命,改善了真空环境,从技术约束真空获取设备和真空室一些其他设备的开启时序关系。 |