| 全压电并排推动的三摩擦力步进器与扫描探针显微镜镜体 |
| CN201110255691.6 2011-9-1 发明申请 |
| 2012-2-8 |
| 本发明全压电并排推动的三摩擦力步进器，第一和第二压电体按伸缩方向平行设置并排地固定站立于第一基座上，构成第一驱动结构，特征是第三和第四压电体按伸缩方向平行设置并排地固定站立于第二基座上，构成第二驱动结构，第一和第二驱动结构的压电伸缩方向设置为一致，在此方向上第一和第二驱动结构相互配合滑动，在垂直于该滑动方向上设置将第一基座与第二基座相压的正压力以及将第一压电体自由端与第三压电体自由端相压的正压力和将第二压电体自由端与第四压电体自由端相压的正压力，在这三个正压力产生的最大静摩擦力中，任一个最大静摩擦力小于其它两个最大静摩擦力之和。优点是：推力大大增强，温漂大大减少。 |
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