| 一种样品的形成一个3D重建的方法使用一种扫描探针显微镜 |
| EP10171871 2010-8-4 发明申请 |
| 2012-2-8 |
| 本发明涉及一种检测一个样品(101)的方法，该方法包括 : 重复制备新鲜的表面(304, 306)所述块的面上一样品通过去除所述表面层，检查该块表面与一扫描探针显微镜(100)，得到的信息中所述电流的表面层，随后通过组合所述的信息所述的多个检查到一3D重建的样品，其特征在于，所述去除是在一个抽空执行通过离子束铣削环境。通过执行所述移除的所述表面与离子束铣削，避免了机械变形，表面粗糙度是减小; 和所述的垂直分辨率是增强，导致在一种更好的3D重建所述的样品。 |
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