| 软X-射线显微镜 |
| JP2010162031 2010-7-16 发明申请 |
| 2012-2-2 |
| 要解决的问题 : 以使它可能以进行显微镜观察的一种超细纳米量级的结构。溶液 : 一个相干的软X射线被用作一个光源和所述行进路径上没有光学透镜软X射线的被使用。通过使用一个反射光学系统如反射镜11至13和一个半反射镜15，该软X射线行进的路径被形成。通过提供一种可变形反射镜14作为波前补偿装置，用于除去的软X射线波像差; 软X射线超短波长可被传播的所述行进路径上形成由所述反射光学系统不被吸收样品200的中途，使得图像可以产生一个CCD检测器17上。进一步，通过使用所述可变形反射镜14，所述的软X射线波像差被除去，从而使它可能的，以实现光收集性能几乎达到所述超短波长的限制，提高所述空间分辨率的性能。版权 : (C)2012，inpit |
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