| 共焦显微镜装置 |
| JP2010159803 2010-7-14 发明申请 |
| 2012-2-2 |
| 要解决的问题 : 提供一种共焦显微镜测量装置准确地检测对象平面以及作为被能够缩短测量时间的。溶液 : 一个共焦显微镜装置100解决该问题包括 : 至少一个对物镜透镜7的用于会聚观察观察样品的表面8上的光; 一个用于改变所述之间的距离Z旋转器16所述观察样品8和所述物镜透镜7由一规定的间隔; 一个信息指示部分，用于测量条件19用于设定所规定的间隔根据所述之间的距离所述观察样品8和所述物镜透镜7; 一Z驱动控制部22用于驱动和控制所述Z旋转器16，使得该距离被在所设定的规定的间隔变化; 一用于检测从该观察表面反射率光检测器12; 和一个控制器2用于根据所检测的检测信号产生一平面图像通过所述光电检测器12通过进行二次扫描光在所观察的表面用于每个所述规定的间隔距离和产生一种通过使用多个产生的三-维图像平面图像。版权 : (C)2012，inpit |
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