| 像差校正的方法和像差校正装置，用于扫描传输电子显微镜 |
| JP2010161673 2010-7-16 发明申请 |
| 2012-2-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一个像差校正的方法和一个像差校正装置，其最小化时间滞后伴随改变在像差和具有高的像差系数在高分辨率的计算精度观察。溶液 : 一扫描传输电子显微镜具有一个像差校正器使电子束入射在一个检测器具有多个检测面，同时拾取一暗场图像通过所述电子束和一亮场图像包括角度所述电子束的用于每个所述检测的信息面，计算一个像差系数从所述多个亮场与所述暗场图像观察到的图像作为位置基准图像，和控制该像差校正装置在所述根据所计算出的像差系数，从而减少像差的。版权 : (C)2012，inpit |
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