| 包括紧密耦合闪烁体-光电倍增管组合的电子检测器以及使用该电子检测器的电子显微镜和X射线检测器 |
| US13194611 2011-7-29 发明申请 |
| 2012-2-2 |
| 一种带电粒子束装置，包括 : 被构造成产生电子束的电子源，所述电子源耦合到电子柱，所述电子柱至少部分地容纳被构造成将所述电子束引向定位在与所述电子柱耦合的样品室中的样品的系统；以及电子检测器。所述电子源被构造成产生电子束，所述电子柱至少部分地容纳被构造成将所述电子束引向定位在与所述电子柱耦合的样品室中的样品的系统。 电子检测器包括定位在电子柱或样品室内的一个或多个组件，每个组件包括SIPM和闪烁体，闪烁体直接面对面地连接到SIPM的有源光感测表面，而光传输装置不定位在闪烁体和SIPM之间。 |
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