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用于纳米尺度测量原子力显微镜系统和方法

US13194422 2011-7-29 发明申请

2012-2-2

一种原子力显微镜(AFM)系统，能够在纳米级水平上成像样品材料的多种物理性质。该系统提供了一种使用放置在样品下面的电磁线圈来成像物理性质的装置和方法。线圈的激励在样品中产生电流，该电流可用于对样品的形貌、样品的物理性质或两者进行成像。