| 扫描传输电子显微镜和轴向调整方法，其 |
| WOJP11065790 2011-7-11 发明申请 |
| 2012-2-2 |
| 本发明公开了一种扫描传输电子显微镜在其一个像差校正器被安装的和在其位置对准所述的会聚孔到所述中心的所述的光学轴可以被自动地执行而不管所述体验或技能所述运营商的。一扫描传输电子显微镜包括 : 一个电子源; 一聚光透镜会聚的电子束从该电子源发射的; 一偏转器，所述电子束扫描样品上; 所述电子束的像差校正器校正像差; 一会聚的会聚孔，其确定该角度的电子束; 和一个检测器，其检测通过所述样品发射电子的或衍射，其中形成一个ronchigram对比度的信息通过所述电子束使被传递通过所述样品获得的是，所述的会聚孔和所述的位置被所述的基础上确定该信息。 |
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