| 电子检测器包括一个紧密耦合的闪烁器-光电倍增管的组合，和电子显微镜和X-射线检测器使用相同 |
| WOUS11045988 2011-7-29 发明申请 |
| 2012-2-2 |
| 一种带电粒子束的装置包括一个电子源结构化，以产生一个电子束，所述的电子源被耦合以一种电子柱，其至少部分地容纳一个系统结构化，以直接该电子束向一标本位于样品室中以其所述的电子柱被耦合，和一个电子检测器。所述电子检测器包括一个或多个组件位于所述的电子柱内或所述样品室，每个该组件包括一个SiPM和一闪烁器直接连接面-到-面到一个有源光感测表面的所述SiPM没有一种光传输装置被定位在所述闪烁体和所述SiPM之间。 |
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