| 温度测量装置，温度测量方法和电子显微镜 |
| JP2011224236 2011-10-11 发明申请 |
| 2012-1-26 |
| 要解决的问题 : 对一个显微样品具有良好的精度测量所述的温度。溶液 : 次级电子和热电子，从样品表面发射由所述从一电子枪发射的电子之间的碰撞10和样品1，被转换成光子通过一个闪烁体20。该光子的数量是通过增加一个光电倍增管30和所述的光子被转换成电气信号。所述的电气信号输出从所述的光电倍增管30通过一电气信号被放大的放大器40，和一个该样品1的温度变换器50计算该温度，所述的基础上的两个所述的电气信号放大，通过所述的电气信号放大器40和一校准曲线。版权 : (C)2012，inpit |
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