使用所述相同的套管单元和扫描电子显微镜
 
KR1020100068510  2010-7-15  发明申请

2012-1-25
 
  目的 : 一套筒单元和一个通过扫描电子显微镜被提供以防止故障形成一真空路径和一小孔用于一气体流量,构成 : 一个套体(310)具有一管形状。一种孔径(320)是包括在所述套体和所述套体分区内的空间。一种小孔(321)用于有选择地发射的电子束被形成在所述孔。一种真空的路径是该组装部上形成所述套体和所述孔。版权kipo2012
 
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