| 测量的具有显微装置和极化过程，用于显微镜附加的极化测量的分辨率，ellipso-显微镜和具有对比度的椭圆偏振显微镜 |
| FR10055837 2010-7-19 发明申请 |
| 2012-1-20 |
| 一极化与显微测量装置和方法的分辨率包括一个偏振转换装置，以修改所述偏振的一个光束以开关从空间上均匀分布到一个分布，其是圆柱形，对称围绕所述的光学轴，和反之亦然。所述转换装置是位于所述轴上的一聚焦的物镜，用于聚焦该圆柱形对称极化光束该待测样品的表面上。该装置可以被结合成一个microellipsometer，或一个干涉对比度显微镜，或作为一种极化附件用于显微镜。 |
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