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扫描共聚焦电子显微镜的对比度

US13182992 2011-7-14 发明申请

2012-1-19

一种扫描共焦透射电子显微镜，包括样品下方的Descan偏转器和校正器。显微镜使用检测器，该检测器优选地显著大于显微镜的分辨率，并且定位在真实图像平面中，这提供了改进的对比度，特别是对于光元件。