| 所述的方法制备的用于扫描探针显微镜 |
| JP2009284004 2009-12-15 发明授权 |
| 2012-1-18 |
| 要解决的问题 : 提供一种用于一探针显微镜探针，其具有一结构具有高耐磨性和所要求的刚度，是一悬臂的附着和形成在所述装载端，使得所述尖端的所述探针是垂直于样品表面，一导电材料制成的，和具有与稳定的分辨率测量重现性好; 和一探针，用于测量所述凹槽侧壁的位置。 溶液 : 一形成一用于一探针显微镜探针的方法被配置成使得一个实心圆柱形的尖端一种的导电材料如钨或金刚石状碳被形成在所述加载一悬臂的一端通过该化学气相沉积方法使用一聚焦离子束。所述探针是生长和形成在一个方向使该探针垂直于所述样品表面在探头扫描。该所加载的形状所述探头的端部被形成为一大致半球形形状。 版权 : (C)2010，inpit |
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