| 装置用于扫描的表面采用原子力显微镜，利用传感器用于例如生物检测中的各种介质，具有静态和动态致动器电连接与悬臂 |
| DE102010026703 2010-7-7 发明申请 |
| 2012-1-12 |
| 一种装置和一种用于扫描要制成的过程可用通过不同的表面与所述帮助所述光栅的力显微术，与那些所述的静态和动态aktuation从彼此分离的和所述的电交叉调制致动器之间，传感器和所述适当的入口是在所述相同的时间和因此更高的分辨率降低用于所述AFM过程达到的。是根据本发明在其每个悬臂的所述太scannenden转动侧表面(1)一种静电致动器(5)和一个动态致动器(4)规划，其在每种情况下通过一隔离层(10)是从彼此电分离，其中所述动态致动器(4)所有的悬臂(1)电和所述静电致动器(5)是与一个从所述动态致动器(4)的另一连接分离到被头用于。本发明可以用于所有以及-已知的AFM过程，此外它是适合作为用于所述的生物或化学检测的传感器不同的媒体。 |
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