| 扫描电子显微镜的样品级 |
| KR1020100096281 2010-10-4 发明授权 |
| 2012-1-11 |
| 目的 : 一种扫描电子显微镜的样品台是提供以防止所述冷却线的故障和通过将冷却空气到足够冷却样品到样品架。结构 : 一可拆卸的样品架(1)解决了一个样品。一种冷却装置是位于所述可拆卸的样品架和一个热沉之间。该冷却装置冷却。所述可拆卸的样品架。第第一杆(3)被连接到所述热沉。第第二杆(4)是连接。以第一杆中，以便自由地移动到一轴向方向第一的杆。的一个端一支撑臂被连接到第二杆，以便自由地移动到一个轴向的方向中所述所述支撑臂第二的杆和所述其它端被连接到所述可拆卸的样品架通过一夹持器连接装置。一种水平扩展部分是由一冷却的线，其将冷却空气被传送通过杆到所述可拆卸的样品架。版权kipo2012 |
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