| 用于检测所述大尺寸扫描探针显微镜对象 |
| RU2010126742 2010-7-1 发明申请 |
| 2012-1-10 |
| 1。所述扫描探针显微镜用于检测所述大尺寸物体，其包括与所述的压电扫描器测量头和所述探针; cmbined用于为了所述单元的分析和控制的，并且还rapprochement所述的模块，三个降压保持; 建立在所述测量头，和所述测量头的驱动，rapprochement包括在所述的模块，其特征是 : 通过该旁的事实它被引入所述平台，其上建立所述两个坐标表，cmbined用于所述为了的所述壳体，其上建立与所述旋转的可能性，其上建立所述rapprochement的模块; 其之前与所述的压电扫描器测量头和所述探针被固定，在这种情况下，测量头包含两个弹簧支持，并紧固到所述物体的平台的模块。!2。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述壳体被用于为了所述两个坐标表的cmbined由所述计数器的装置，固定在所述两个坐标表，和两个圆柱形引导。!3。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述壳体是cmbined用于为了所复现的机构，固定在所述两个坐标表。!4。[P]上的装置。3，其特征是由所述的事实所述形成支架中执行该循环机构与两个弹簧支持，位于与所述壳体与所连接的可能性。!5。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述两个坐标形式第一和第二中被执行表托架，与用于所述的缘故cmbined在根据第一和第二驱动。!6。[P]上的装置。1，它是rapprochement其特征在于，所述的事实所述的模块形式第三中被执行的托架; 为了建立移动相对于外壳和用于所述的组合所驱动的测量头。!7。[P]上的装置。1，其特征是由所述的事实所述两个坐标表包含位移拾取器。 |
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