| 扫描电子显微镜和控制方法，其 |
| JP2010136505 2010-6-15 发明申请 |
| 2012-1-5 |
| 要解决的问题 : 以实现一个紧凑和高效检测系统，用于检测一个二次信号电子。溶液 : 一个用于偏转电磁场仅一个二次信号发射的电子从样品中产生的是一个叠加通过使用方式一种用于扫描一个主电子束偏转器。换句话说，一个关闭-设置用于消除偏转电流和一个偏置电压通过一个电场和偏转通过一磁场至该主电子束和用于叠加一个电场和磁场偏转所述二次信号的电子被产生的所述用于产生一电场或磁场偏转器，用于扫描所述主电子束。版权 : (C)2012，inpit |
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