| 电子束照射的方法和扫描电子显微镜 |
| WOJP11003214 2011-6-8 发明申请 |
| 2012-1-5 |
| 本发明提供一种电子束扫描方法用于形成一个用于适当地引导电子发射的电场从一种图案所述图案到所述的外侧，和还提供一种扫描电子显微镜。当电子束用于形成电荷被照射到样品，第一电子束照射到一第一位置(1)和一第二位置(2)具有所述中心上形成一图案(104)的所述样品作为一个对称点，和然后另外照射到两个中心位置(3，4)第一和第二之间照射位置，所述两个中心位置(3，4)被所述相同的半径上为中心在所述对称点作为被第一和第二的位置。进一步，使后，所述的第一电子束照射到所述现有的扫描位置之间的中心位置在该半径被重复。 |
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