| 极化分集的干涉仪，和显微镜使用这种 |
| KR1020100062001 2010-6-29 发明申请 |
| 2012-1-4 |
| 目的 : 一种使用所述相同的极化分集的干涉仪和一种显微镜，其可检测的偏振改变所述极化分集; 被提供到进行该分析关于所述内部结构，材料，和一个件的表面通过同时测量该一信号光的相位和幅度变化。结构 : 一种极化分集的干涉仪包括一个光源，一分束器(PBS); 一偏振分束器和一个光学检测器。所述分束器将所述该光源的光。所述的光学使用所述多个光学检测器检测所述分离的光检测器，如果至少一个光学检测器具有所述偏振所述的光的反射和传输分集从一个样品，所述偏振光变化检测器检测所述偏振改变。版权kipo2012 |
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