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原子力显微镜
AM20110079 2011-6-30 发明申请
2011-12-26
本发明涉及固态物理,特别涉及广泛用于纳米电子学的原子力显微镜的研制。 一种原子力显微镜,包括放置在衬底上的被研究样品,在其底部具有控制台的传感器。 探头固定在控制台的下部。 在探针的上部上方将铁磁性纳米膜施加到控制台表面上。 传感器具有磁性,灵敏度高,分辨率高。 传感器输出连接到检测器,检测器的输出连接到控制台。 降低原子力显微镜的基本成本,高精度,高灵敏度和分辨率,2dWg。
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