| 电子显微镜装置 |
| CA2743374 2011-6-16 发明申请 |
| 2011-12-24 |
| 本发明提供了一种电子显微镜装置，包括一扫描电镜2和一光学显微镜3，其中该扫描电子显微镜具有用于扫描电子束扫描装置10和一个电子检测器12用于检测电子11发出从一样品8在由所述电子束扫描，和该扫描电子显微镜获取一个扫描电子图像基于检测结果从所述电子检测器，所述的光学显微镜具有一个光发射源13，用于照明的照明光，和所述的光学显微镜所述的照明光照射到所述样品，和获取通过接收一个从所述样品反射的光的光学图像，和其中所述电子检测器具有一种荧光物质层用于电子-光转换，波长滤波器，用于限制使得所有或几乎所有的所述荧光的波长范围从所述荧光物质层的光穿过，和一个波长检测元件，用于接收所述荧光的光穿过所述波长滤波器和执行光-电转换，其中所述的光量的所述波长范围中所述的照明光通过通过所述波长滤波器不超过所述的扫描电子图像劣化的限制。 |
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