| 共聚焦显微镜 |
| JP2010132299 2010-6-9 发明申请 |
| 2011-12-22 |
| 要解决的问题是:在防止观测对象的像的失真的同时,减少光源的光量损失。 解决方案:共焦显微镜1包括光源10; 扫描仪镜11,其配置在光源10与观察对象物A之间的光路上,能够相对于光路改变角度,从而改变对观察对象物A的光照射位置; 光选择部12,从观察对象A侧由扫描镜11反射的反射光中的聚焦于观察对象A的反射光通过; 使通过光选择部分12的反射光再次反射的光学系统13; 以及由被扫描仪镜11再次反射的反射光形成观察对象物A的像的像形成部14。 版权:(C)2012, JPO&INPIT |