| 扫描电子显微镜 |
| JP2010133031 2010-6-10 发明申请 |
| 2011-12-22 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜可观察的一个大尺寸的测试件，和能够减少等待时间，当一小尺寸的测试件被观察到。溶液 : 在所述扫描电子显微镜，一个空间限制机构30，用于观察一小尺寸的测试件被设置在下方一个对象的透镜。在根据与所述小尺寸或大尺寸的测试件，该空间限制机构30的内部空间36一测试对象室中被定义为窄空间4和密封靠在所述空间周围的空间限制机构30所述测试对象室4中，和只从所述内部空间36的空气被抽真空的所述空间限制机构30通过改变所述测试对象室4中的排空序列。版权 : (C)2012，inpit |
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