| 物镜系统和电子显微镜 |
| WOJP11060855 2011-5-11 发明申请 |
| 2011-12-22 |
| 本发明提供一种样品的观察物镜系统和电子显微镜可利用电子束加速到一个超高电压状态，即使不使用直接电流超-高电压源，一个直流加速器管或多电磁透镜用于超-高电压。一种微波加速器(3)含有微波腔是设置在所述一对物镜的透镜的注射侧由电磁透镜(前置物镜电磁透镜的(2a)，后物镜电磁透镜(2b))，和一个微波减速器(4)含有微波空腔被设置在所述输出侧的一对物镜的透镜。另外，具有相互不同的相位被供给到所述空腔的微波的微波加速器(3)和所述微波减速器(4)通过一个波导(6)从一个高频率的功率源(5)。 |
微信公众号