| 扫描探针显微镜具有支撑台包括一个挠曲运动装置 |
| WOUS10054691 2010-10-29 检索报告 |
| 2011-10-13 |
| 一个扫描探针显微镜(SPM)(200)具有一个基于压电致动器管扫描器(12)到其中一个探针(14)被附着和其中三个平面由所述的应用中是可移动的一个电压到所述的压电管。一设置挠曲件(40)的所述管的弯曲与所述位移，和应变片(74，76，78，80)。所述挠曲件附着到所述挠曲件测量所述的柔性，以提供反馈作为到该管的所述位移所述扫描期间的一个对象。该应变计和弯曲部分形成一个运动检测帧或其一种单一约束中的装置是设置用于每个程度的自由度和在其所述约束条件是至少基本上正交于一个另一。 |
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