| 悬臂支架和与所述相同的扫描探针显微镜配备 |
| JP2011003408 2011-1-11 发明申请 |
| 2011-9-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一悬臂支架，其可以用于各种环境下，不管的该种溶液和气体和其能有效地振动的一个悬臂，和以提供一种具有改进的扫描探针显微镜测量精度被设置与所述夹持器。溶液 : 所述用于所述扫描探针显微镜悬臂保持器7包括一悬臂保持部13，它可以保持所述悬臂5在一个端; 第第一基部14以其一个端部13d所述悬臂的保持部13被固定; 第第二基部15，保持第一基部14; 和一压电元件16，其中所述表面上被固定在所述反向侧的一表面在其中所述悬臂保持部13被固定，在第一基部14，与一个端部制作接触与所述表面。在该保持器，所述压电元件16被固定至第一基部14，以作为待在一预加载的条件。版权 : (C)2011，inpit |
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