| 探测器装置包括扫描电子显微镜，所述探测器装置和探针的清洗方法 |
| JP2010275690 2010-12-10 发明申请 |
| 2011-5-12 |
| 要解决的问题 : 以提供一种探测器装置能够抑制产生一种氧化物的膜的上一探针针。溶液 : 该探测器装置包括一清洗室5包括一个机构用于清洁一探针的探针单元4所述探测器装置的真空中通过使用离子或干处理等，和一个测量机构(一个制备室3，一种输送装置12，一测试晶圆13，和一个栅极阀6)用于确定电测量所述探针单元的所述探头4的真空中。所述探针是不暴露到大气中的一测量探针上去除氧化膜后所述真空清洗室5。由此，稳定的电特性的测量可以被执行以一个检查对象。版权 : (C)2011，inpit |
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