| 与透射电子显微镜相结合的用于定量纳米压痕的可致动电容传感器 |
| US12886745 2010-9-21 发明申请 |
| 2011-1-13 |
| 一种可致动电容式换能器，包括换能器主体，包括可移动电极并被电配置为静电致动器的第一电容器，以及包括可移动电极并被电配置为电容式位移传感器的第二电容器，其中第二电容器包括多板电容器。 所述可致动电容式换能器还包括耦合轴，所述耦合轴构造成将所述第一电容器的可移动电极机械耦合到所述第二电容器的可移动电极，以形成可相对于所述换能器主体移动的可移动电极单元， 以及导电压头，其机械地耦合到耦合轴，以便可与可移动电极单元一致地移动。 |
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