| 探针显微镜 |
| US12831651 2010-7-7 发明申请 |
| 2011-1-13 |
| 一种探针显微镜，包括具有用于与物体接触的探针的悬臂，第一和第二位移检测光学系统以及物镜。 所述第一位移检测光学系统包括第一光源和检测所述悬臂的位移的第一位移检测部分。 所述第二位移检测光学系统包括第二光源和检测所述物体的位移的第二位移检测部分。 物镜设置在悬臂和第一光源之间以及悬臂和第二光源之间。 所述物镜具有用于从所述第一光源发射的光的焦点位置，所述焦点位置在所述悬臂的位置处具有第一波长，并且具有用于从所述第二光源发射的光的焦点位置，所述焦点位置在所述物体的位置处具有第二波长。 |
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