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原子力显微镜装置、装置和系统

US12392811 2009-2-25 发明授权

2011-12-20

本发明的各种实施例涉及显微镜悬臂。根据示例性实施例，本发明的方面涉及一种悬臂，该悬臂具有主体和从主体的端部延伸并包括靠近力传感器装置的自由端的尖端的力传感器装置。相对于悬臂的响应，力传感器布置对尖端与样品的相互作用表现出高的时间响应。力传感器装置的响应被检测并用于表征样品。