| 所述相同的原子力显微镜和悬臂支持 |
| JP2010126027 2010-6-1 发明申请 |
| 2011-12-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一种原子力显微镜，其可以精确地检测交互量由于原子间力一悬臂和样品之间具有一利用光测量方法，例如一种光学杠杆的方法，即使当所述悬臂被驱动在高的速度在所述Z方向，和以提供一悬臂支撑的所述原子力显微镜。解决方案 : 一种原子力显微镜100包括 : 一用于支撑一悬臂14的悬臂支撑13; 和一个z向扫描器12用于驱动所述悬臂支撑13具有一高度方向作为一个驱动方向。所述悬臂支撑13包括 : 一悬臂连接部突出在一方向垂直于所述的驱动方向所述的z向扫描器12; 和一个平衡投影部突出在一个方向相反的所述悬臂连接到所述的投影方向部分。版权 : (C)2012，inpit |
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