| 扫描电子显微镜装置 |
| JP2010127156 2010-6-2 发明申请 |
| 2011-12-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜装置与一种能够获得一个倾斜的倾斜柱所述相同的电平中具有高分辨率图像作为获得一个顶向下的图像，其使用一垂直列。溶液 : 该扫描电子显微镜装置包括一垂直柱100和一倾斜柱200。一尖端磁极25的一物镜透镜24所述倾斜柱200是电绝缘的由被分离从一磁极体，和设置接近到一样品13，然后该尖端磁极25所述物镜的透镜24和样品13被保持在所述相同的电位，从而使顶向下观察与高分辨率通过所述垂直列中被延迟100和倾斜观察与高分辨率由短焦距操作在所述倾斜柱200。版权 : (C)2012，inpit |
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