| 电子显微镜用于直接冲击检测器，包括检测器装置和方法和二次 |
| JP2011521340 2009-7-30 发明申请 |
| 2011-12-15 |
| 用于使用的装置与用于样品成像的电子束。该装置具有下变频检测器(14)被配置成检测电子显微镜信号(32)产生的电子梁(30)入射到样品(26)，直接轰击探测器(16)靠近所述下转换检测器(14)和被配置为检测电子显微术信号(32)，和一机构(18)选择性地暴露所述下转换检测器(14)和直接轰击(16)检测器至电子显微信号(32)。还提供了使用该装置的方法。 |
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