扫描探针显微镜
 
US13073735  2011-3-28  发明申请

2011-12-15
 
  为了提供扫描探针显微镜,其中扫描装置不被流体损坏,扫描探针显微镜30包括用于支撑悬臂1的悬臂支撑部分2; 位移测量部分3、4、5和6,用于测量悬臂1的位移; 样本容器11,其包括侧壁19和底表面18,并且包含流体10和样本S; 载置台40,试样容器11载置在载置台40上; 以及用于移动和扫描承载台40的扫描装置7。 当悬臂1浸入容纳在样本容器11中的流体10中时,移动承载台40,并且测量悬臂1的位移。 扫描探针显微镜30还包括能够吸收流体10的环形保护垫50。 在载置台40的外周面上形成有安装机构43,该安装机构43用于通过保护垫50的内周区域可拆卸地安装保护垫50。
 
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