高速高分辨率原子力显微镜
 
US13114642  2011-5-24  发明申请

2011-12-15
 
  根据示例性实施例,原子力显微镜包括探针尖端、包括探针尖端的悬臂、位移测量装置和移动装置。 悬臂的振动位移根据探针尖端的原子和样品表面的原子之间的力而变化。 所述位移测量装置被配置为将从光源发射的光束照射到所述悬臂上,并且基于从所述悬臂反射的光束测量所述悬臂的位移。 所述移动装置被配置成在扫描样本时同时移动所述悬臂和所述位移测量装置。
 
仿站