| 闪烁器的制造方法，用于扫描电子显微镜 |
| KR1020100054092 2010-6-8 发明申请 |
| 2011-12-14 |
| 目的 : 一种用于制造方法的一个闪烁体用于一种扫描电子显微镜是提供使用所述闪烁体，以提高耐久性其中一个石墨烯中的一种结构的薄膜被涂覆在一可视光转换层。结构 : 一可视光转换层(310)被形成在一衬底，所述可视光转换层改变带电粒子成可见光。一烯层(320)被输入的所述带电粒子和发送所述带电粒子向所述可视光转换层。一接地端子(330)排出所述带电粒子，其被累加在所述石墨层到外侧。一种闪烁体(144)指示下一结构关于一种测试样品。一种石墨烯薄膜是通过蚀刻形成所述衬底，所述石墨烯薄的膜被放置在所述可视光转换层。版权kipo2012 |
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