| 扫描电子显微镜的滑动架 |
| KR1020100082904 2010-8-26 发明授权 |
| 2011-12-13 |
| 目的 : 一种自动样品交换装置用于一种扫描电子显微镜被提供以减少切换的时间被旋转在一种状态，其中一个样品被放置并且以准确地固定该位置中心的一个样品。结构 : 样品被放置在一旋转样品架装置(20)和旋转。一种滑动架传送装置(30)滑动，所述旋转样品架装置以一特定位置。一种多控制元件(40)旋转该旋转样品架装置。多控制元件调整所述滑动架的滑动部分转印装置和固定该透镜的中心轴一个样品架。一种致动器驱动步进电机(60)。所述步进电机将所述滑动架传送装置。步进电机控制部控制所述步进电机。一种电压调整部分调整电压被提供到所述致动器。版权kipo2012 |
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