| 扫描探针显微镜的位移检测方法 |
| JP2011160972 2011-7-22 发明申请 |
| 2011-12-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一种光学位移检测机构可调整的检测灵敏度或所述噪声比; 不具有依赖于所述的光学特性，诸如一测量对象的反射率，该形状或所述机械特性，即使如果所述测量对象被改变; 降低所述的热变形的影响由照射引起的光到所述测量测量对象物体; 和固定的最佳条件下测量精度。溶液 : 该光学位移检测机构的构成 : 一光源10用于照射一悬臂6，一个测量对象; 与光; 一光源驱动电路21用于驱动所述光源10; 一个光检测器16用于接收光照射后该悬臂6从该光源10和检测光强度; 和一个放大器22用于放大通过所述光电检测器16检测信号在一个规定的放大因子。一个光强度调整单元28和一个放大因子调整单元27被提供到所述的机构，从而使能调整所述照射光强度，以该悬臂6或所述光电检测器16所述的放大因子。版权 : (C)2012，inpit |
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