| 扫描电子显微镜 |
| JP2010124078 2010-5-31 发明申请 |
| 2011-12-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜能够有效地检测反射的电子发射的一样品在一个小角度，而不劣化样品图像的分辨率在所述捕获的时间。解决方案 : 一种扫描电子显微镜包括 : 一个电子束源用于发射电子束; 一个物镜，用于通过所述电子束源所发射的电子束聚焦在样品; 一扫描用于扫描所述聚焦电子束偏转器在所述样品; 一内管通过其所述电子束从电子束发生源; 一第一的闪烁器提供所述内管的内壁上，当其发射光第一的电子作为检测的对象从所述样品与扫描所引起的电子束撞击在其上; 和一个用于检测光检测器第一的光，其结果从所述光发射和向着所述电子束所述内管中的源。该扫描电子显微镜形成一由所述光电检测器扫描图像基于检测结果。版权 : (C)2012，inpit |
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