| 用于检查装置使用一个扫描探针显微镜样品 |
| KR1020100051999 2010-6-1 发明申请 |
| 2011-12-7 |
| 目的 : 一种装置，用于检测一试样被提供到一对应的像素通过测量检查所述的正常操作感应出电流，以一种悬臂通过一个电流测量装置。结构 : 一个探针(306)是多个的悬臂(307)中制备的。所感应的电流流动tot悬臂的Eh。以产生一表面电荷，一电压供应器提供所述电压到所述探针和样品。一种电流测量单元测量所述悬臂上的电流从一个探针。一种控制器扫描像素所述样品到所述探针的通过一个移动装置(321)。基于在所述测量电流值，该控制器确定该故障的一个对应的像素。版权kipo2012 |
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