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偏振Mirau干涉显微镜
US12217015 2008-7-1 发明授权
2011-12-6
用两个消色差λ/4延迟片代替传统的Mirau干涉仪的两片分光片。 第二延迟器的上表面涂覆有50%的反射膜,因此它也起到分束器的作用。 用线偏振光照射物镜。 由于这种布置,从Mirau干涉仪出来的测试光束和参考光束是适合于消色差相移的正交偏振光束,从而促进Mirau干涉仪用于单色至宽带相移干涉显微镜。 可选地,它可以通过在物镜出口处放置可旋转偏振器来用于光束强度的均衡。
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