照明装置,和包括所述相同的变焦显微镜
 
JP2010114764  2010-5-18  发明申请

2011-12-1
 
  要解决的问题 : 以提供一种照明装置包括装置,其被配置以适应与所述的移动一个瞳通过变焦引起的表面,而不使用复杂的变焦系统,其中所述共轭之间的关系中一个图像和一个光瞳被固定,并提供一种变焦显微镜包括所述照明装置。溶液 : 一种变焦显微镜30包括在顺序从一个样品表面 : 一个物镜11; 和一个远焦变焦光学系统13; 其中所述物镜的透镜光瞳11位于所述样品表面侧上的所述远焦变焦光学系统13。一个照明装置20被配置成与照明光照射一样品表面10a通过所述远焦变焦光学系统13和一变焦显微镜30中所述物镜透镜11。所述照明装置20包括顺序从所述远焦变焦光学系统13中向所述光源 : 一种成像透镜15; 一个场透镜16设置insertably\/可拆卸地在所述样品的共轭表面附近形成通过所述成像透镜15; 一聚光透镜g5; 和一光源18。该场透镜16用于校正所述出口之间的光瞳的位置偏差所述光源侧上形成一种照明光学系统和所述光源18的由所述的变焦引起的所述远焦变焦光学系统13是配置成可插入\/可拆卸的。版权 : (C)2012,inpit
 
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