| 选择的区域透射电子显微镜的孔板，选择区域的孔板的制造方法，选择和观察的方法区域电子衍射图像 |
| JP2010117313 2010-5-21 发明申请 |
| 2011-12-1 |
| 要解决的问题 : 以提供一选择的区域孔板，所述相同的制造方法及该等; 在其中的细孔可以被形成，同时保持机械强度，和其是选择合适的用于观察区域电子衍射图像的一个TEM。溶液 : 所述选择区域的孔板的制造方法包括 : 形成一初步制造区16(2μm或更少)由FIB制造在一个孔板11由一个单一的材料如钽或钼与一个十位μm的深度或多个其机械强度被固定，并且其屏幕的电子束; 和下一个，形成一细孔15的1μm或更小。由于该细孔的一个侧壁部分15被形成具有一尖锐的切割边缘和一非锥形形状，外周外侧所述的细孔15不发送即使是高的电子束的能量200KeV到300KeV。版权 : (C)2012，inpit |
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