| 扫描电子显微镜和样品使用扫描电子显微镜检查方法 |
| JP2010107340 2010-5-7 发明申请 |
| 2011-11-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜或一个样品使用扫描电子显微镜检查方法它是在一个元件的可靠性高的频谱一种通过装置的样品或它们的量化的精度通过调节一个系统的峰值抑制一个电子的散射量在物镜光阑来控制电子其偏离主电子束照射的轨迹和被超出的分析点。溶液 : 本发明中，一束直径被定义为使得一个系统的峰值强度被抑制，其中一个电子具有一物镜光学系统光阑，一个冷凝器隔膜和一聚光透镜包括，当样品被通过检查一次发射的电子束聚焦从电子束使用所述聚光透镜，以照射到所述物镜光阑，停止所述透镜所述照射下，以减少所述光束的直径使用所述冷凝器隔膜，以通过穿过一孔的中心聚焦物镜，和二次电子的或散射电子产生的检测从所述样品通过所述电子束的照射在这里。版权 : (C)2012，inpit |
微信公众号