| 一种用于4D层析成像和超快扫描电子显微镜的方法和系统 |
| US12884001 2010-9-16 发明申请 |
| 2011-11-24 |
| 一种4D电子断层成像系统,包括具有一个或多个自由度的载物台、电子源和可操作以引导电子脉冲撞击支撑在载物台上的样品的电子光学器件。 电子脉冲的脉冲在第一时间冲击样品。 该系统还包括激光系统和可操作以引导光脉冲撞击样品的光学器件。 光脉冲的脉冲在第二时间冲击样品。 该系统还包括 : 检测器,其可操作以接收通过样品的电子脉冲;控制器,其可操作以独立地修改载物台的定向以及第一时间或第二时间中的至少一个;存储器,其可操作以存储图像组;以及处理器,其可操作以从图像组形成4D断层图像组。 |